Поради високата температурна стабилност, високата отпорност на миграција на електрони и високиот коефициент на емисија на електрони на огноотпорни волфрамски и волфрамски легури, целите со висока чистота од волфрам и легури од волфрам главно се користат за производство на електроди на портата, жици за поврзување, слоеви на дифузна бариера, итн. на полупроводнички интегрирани кола, и имаат високи барања за чистота, содржина на елемент на нечистотија, густина, големина на зрно и униформност на структурата на зрната на материјалите.Сега да ги погледнеме факторите кои влијаат на подготовката на целта од волфрам со висока чистота.
1, Ефект на температурата на синтерување
Процесот на формирање на целниот ембрион на волфрам обично се прави со ладно изостатско пресување.Зрното од волфрам ќе расте за време на процесот на синтерување.Растот на зрното од волфрам ќе ја пополни празнината помеѓу границите на зрната, со што ќе се подобри густината на целта на волфрам.Со зголемувањето на времето на синтерување, зголемувањето на целната густина на волфрам постепено се забавува.Главната причина е што по повеќекратното синтерување, квалитетот на целта на волфрам не е многу променет.Бидејќи повеќето празнини во границата на зрната се исполнети со волфрамски кристали, по секое синтерување, вкупната стапка на промена на големината на целта на волфрам беше многу мала, што резултираше со ограничен простор за зголемување на густината на целта на волфрам.Со процесот на синтерување, израснатите зрна од волфрам се полни во празнините, што резултира со поголема густина на целта со помала големина на честички.
2, Ефект на времето на задржување
На истата температура на синтерување, компактноста на волфрамската цел ќе се подобри со продолжување на времето на задржување на синтерување.Со продолжување на времето на задржување, големината на волфрамското зрно ќе се зголеми, а со продолжувањето на времето на задржување, времето на раст на големината на зрното постепено ќе се забави, што значи дека зголемувањето на времето на задржување може да ги подобри и перформансите на волфрам цел.
3, Ефект на тркалање врз целните својства
Со цел да се подобри густината на целниот материјал на волфрам и да се добие структурата за обработка на целниот материјал на волфрам, тркалањето со средна температура на целниот материјал од волфрам мора да се изврши под температурата на рекристализација.Ако температурата на тркалање на целната палка е висока, структурата на влакната на целната палка ќе биде груба, и обратно.Кога брзината на топло тркалање достигнува повеќе од 95%.Иако разликата во структурата на влакната предизвикана од различни оригинални зрна или различни температури на тркалање ќе биде елиминирана, внатрешната структура на целта ќе формира релативно униформа структура на влакна, така што колку е поголема стапката на обработка на топло тркалање, толку е подобра изведбата на целта
Време на објавување: 15-февруари 2023 година