Со цел да се поддржи индустријата за компоненти на пиезоелектрични сензори MEMS (pMEMS) базирани на филм и филтер за радиофреквенција (RF), легурата на алуминиум скандиум произведена од Rich Special Material Co., Ltd. е специјално користена за реактивно таложење на скандиумски допирани филмови од алуминиум нитрид .
Пиезоелектричните материјали со тенок филм се повеќе се користат во автомобилската, индустриската и личната електронска опрема.Апликациите вклучуваат сензори за отпечатоци од прсти базирани на pmt и уреди за препознавање гестови, MEMS микрофони, хемиски сензори базирани на резонатор и медицински сензори.Дополнително, се повеќе се потребни филмови со алуминиум нитрид со скандиум за да се реализираат RF филтри за 5G мрежни апликации.Во исто време, количината на алуминиумска легура на скандиум се зголемува.
Својства на Al Sc легура
Високо доследна хемиска хомогеност низ целата легура
Високо доследна хемиска хомогеност на филмот во текот на целиот животен век на чипот и легурата
Чистота>99,9%, ниска содржина на кислород, ниска содржина на критични загадувачи
Строго контролирајте ја микроструктурата за да постигнете најдобри перформанси на прскање
Вакуум лиење, целосно густа легура со мала адхезија, мала варијабилност и ниска грануларност
Rich Special Material Co., Ltd. поддржува различни услуги за топење легури, прилагодување на целта и услуги за истражување и развој.
Време на објавување: 11-11-2022 година